Yarimo'tkazgich uchun titan qismlari

1. Ultra{1}}kam iflosliklarni chiqarish nazorati

Biz butun ishlab chiqarish jarayonida keramika asboblari + temir{1}}bepul asboblarni qayta ishlash sxemasini qabul qilamiz. Ish qismi bilan aloqada bo'lgan barcha yordamchi materiallar temir, xrom va boshqalarning umumiy miqdorini 0,02% ichida bo'lishini qat'iy nazorat qilib, kislotali yuvishning uch bosqichidan o'tadi. Bu yarimo'tkazgich jarayonlarida keng tarqalgan metall ionlarining ifloslanishi muammosidan butunlay qochadi va gofret yuzasida ortiqcha metall qoldiqlari paydo bo'lishining oldini oladi. Bu moddiy tomondan kontaktlarning zanglashiga olib kelishi xavfini kamaytiradi.

 

2. Uzoq{1}}korroziyaga chidamlilik

Qism hosil bo'lgandan so'ng, passivatsiya uchun zaif oksidlovchi eritmaning ikki xil konsentratsiyasiga botiriladi. Sirtda qalinligi 8-10 nm bo'lgan bir xil titan dioksidi himoya plyonkasi hosil bo'ladi. Yarimo'tkazgichni tozalash jarayonida 2000 soat davomida uzluksiz ravishda suyultirilgan gidroflorik kislota va nitrat kislota aralash eritmalariga duchor bo'lganda ham, gofret yuzasini tirnaydigan hech qanday chuqurlik bo'linmaydi va qoldiqlar bo'lmaydi.

 

3. Yuqori-aniqlikdagi oʻlchov barqarorligi

Qayta ishlash jarayonida butun jarayon doimiy haroratni nazorat qilish uchun suyuq azotli purkagichdan foydalanadi, ishlov berish jarayonida hosil bo'lgan deformatsiyani 0,003 mm ichida nazorat qiladi. Zavoddan chiqishdan oldin tayyor mahsulotlar 24 soatlik yuqori va past haroratli velosiped sinovlaridan o'tadi. Yarimo'tkazgichli jarayon muhitida 180 daraja uzoq vaqt ishlaganda ham deformatsiyaning tiqilib qolishi va deformatsiyaning yopishishi bo'lmaydi. Tez-tez qismlarga ajratish va tekislashning aniqligini sozlashning hojati yo'q.

 

4. Vakuum muhitiga mos keladigan past egzoz tezligi

Barcha qismlar avval gazsizlantirish uchun 48 soat davomida 120 daraja vakuumli pishirishga duchor bo'ladi. Sirtda adsorbsiyalangan suv bug'lari va mayda zarrachalar butunlay chiqariladi. Yarimo'tkazgichli vakuum kamerasiga o'rnatilgandan so'ng, uskuna oddiy zanglamaydigan po'lat qismlardan foydalanishga qaraganda 25% tezroq maqsadli vakuum darajasiga erishishga yordam beradi va vakuum nasosini kutish vaqtini yo'qotadi.

1. PVD bug 'cho'ktirish mashinasi uchun gofret tepsisi

Qoplanadigan silikon gofretni qo'llab-quvvatlash uchun ishlatiladi. Maqsadli materialning sochilishining yuqori haroratli muhitida titanium qismi purkash gazi bilan reaksiyaga kirishmaydi va kameraga ortiqcha aralashmalarni chiqarmaydi, bu gofret yuzasiga yotqizilgan metall plyonka qatlamining bir xilligini 5% ga yaxshilaydi va metall qatlam qalinligi etarli bo'lmaganligi sababli chipning oqishi muammosini oldini oladi. 28nm va undan past bo'lgan jarayonlarni qoplash ishlab chiqarish talablari uchun javob beradi.

 

2. Nam tozalash mashinasi uchun gofret tashuvchi raf

RCA standarti tozalash jarayonida raf kuchli kislota va kuchli gidroksidi tozalash eritmalariga to'liq botiriladi. Titan materiali korroziyaga uchramaydi va qoldiqlarni hosil qilmaydi va zarrachalar ifloslanishiga olib keladigan gofret yuzasiga yopishmaydi. Bir partiyali gofretni tozalashning zarracha nuqsoni darajasini 12% ga kamaytirishi mumkin. Shu bilan birga, rafning engil xarakteristikasi ham tozalash mashinasining uzatish yukini kamaytirishi va uskunaning energiya sarfini kamaytirishi mumkin.

 

3. Ion implantatsiyasi mashinasi uchun elektrodni mahkamlash o'rindig'i

Mashinada yuqori-voltajli elektrodlarni tuzatish uchun foydalaniladi. Titanning magnit bo'lmagan xususiyati -ion nurlarining traektoriyasiga xalaqit bermaydi, bu esa ion implantatsiyasining chuqurlikdagi og'ishini juda kichik diapazonda nazorat qilish imkonini beradi va gofretning mahalliy hududida in'ektsiya dozasining notekis bo'lishi muammosini oldini oladi. Bu chipning elektr ishlashi mustahkamligini sezilarli darajada yaxshilaydi.

 

4. Yarimo'tkazgichli vakuum quvur liniyasi uchun ulagichning gardishi

Mashinaning vakuum quvur liniyasining turli qismlarini ulash. Titanning past egzoz tezligi quvur ichidagi yuqori-vakuum muhitini saqlab turishi mumkin va uzoq muddatli foydalanishdan keyin oddiy zanglamaydigan po'latdan yasalgan gardishlarning gaz chiqishi tufayli vakuum darajasida tebranishlarga olib kelmaydi. Bu vakuum anormalliklari tufayli kelib chiqadigan mashinani o'chirish signallari sonini kamaytiradi va ishlab chiqarish liniyasining uzluksiz ishlash vaqtini 30% ga oshiradi.

1. Standart bo'lmagan{1}}o'lchamlarni moslashtirish

O'zimizning 5 eksa ishlov berish markazimizga tayanib, qismlarning uzunligi, kengligi va balandligi mijozning mavjud yarimo'tkazgich uskunasini o'rnatish joyiga qarab sozlanishi mumkin. Buyurtmachi uskuna interfeysini o'zgartirishga hojat yo'q va birinchi namunani 7 kun ichida etkazib berish mumkin.

 

2. Sirt holatini moslashtirish

Talabga ko'ra sirtni qayta ishlashning ikkita usuli tanlanishi mumkin: oynani parlatish va mat qum bilan tozalash. Ular ishlab chiqarish jarayonining turli xil tozalik talablariga javob beradi va yarimo'tkazgich ishlab chiqarish muhitiga ta'sir qiladigan zarrachalarning yopishishidan qochishi mumkin.

 

3. Maxsus interfeyslarni moslashtirish

Maxsus karta uyalari va joylashishni aniqlash teshiklari kabi maxsus tuzilmalar mijozning oʻzi ishlab chiqargan uskunasi-ni yigʻish talablariga toʻliq mos keladigan tarzda sozlanishi mumkin. Qo'shimcha adapter komponentlarini qo'shish shart emas.

Element	Spetsifikatsiya
Mahsulot nomi	Yarimo'tkazgich uchun titan qismlari
Material	Sof titan (2-sinf), titanium qotishmasi (5-sinf Ti-6Al-4V)
Ishlab chiqarish jarayoni	CNC ishlov berish, tornalash, frezalash, silliqlash, payvandlash
Mavjud shakllar	Plita, halqa, trubka, novda, blok, maxsus qismlar
O'lchamlari	Chizmalar yoki namunalar bo'yicha moslashtirilgan
Tolerantlik	± 0,01 mm gacha
Yuzaki tugatish	Sayqallangan, qumlangan, tuzlangan, anodlangan, nozik ishlov berilgan
Sirt pürüzlülüğü	Ra 0,2–1,6 mkm (maxsus mavjud)
Poklik	99,6% gacha (2-sinf titanium)
Ishlash harorati	400 darajagacha
Zichlik	4,51 g/sm³
Qattiqlik	2-darajali: HB 145–200; 5-sinf: HRC 30–36
Korroziyaga qarshilik	Kislotalarga, ishqorlarga va texnologik kimyoviy moddalarga mukammal qarshilik
Kimyoviy muvofiqlik	Yarimo'tkazgichli kimyoviy moddalar va ultra-tozalikdagi muhitlar uchun javob beradi
Tekshirish	O'lchovli tekshiruv, materialni sertifikatlash, sirt tekshiruvi

 

 

 

Issiq teglar: Yarimo'tkazgich uchun titan qismlari, yarimo'tkazgichlar uchun Xitoy titan qismlari ishlab chiqaruvchilar, etkazib beruvchilar, zavod